INFICON公司簡(jiǎn)介

INFICON是儀器，關(guān)鍵傳感器技術(shù)和過(guò)程控制軟件的提供商，這些產(chǎn)品可復(fù)雜工業(yè)真空工藝的生產(chǎn)率和質(zhì)量。這些分析，測(cè)量和控制產(chǎn)品對(duì)于空調(diào)/制冷和汽車(chē)制造中的氣體泄漏檢測(cè)。對(duì)于光學(xué)和平板顯示器，太陽(yáng)能電池和工業(yè)真空鍍膜應(yīng)用中的半導(dǎo)體和薄膜鍍膜的復(fù)雜制造，它們對(duì)于設(shè)備制造商和終用戶(hù)。我們基于真空的工藝的其他用戶(hù)包括生命科學(xué)，研究，航空航天，包裝，熱處理，激光切割和許多其他工業(yè)工藝。

INFICON 真空開(kāi)關(guān) VSA100A 用作真空系統(tǒng)中的開(kāi)關(guān)。例如，當(dāng)使用壓力低于大氣壓力 6 mbar 的吹掃氣體對(duì)真空系統(tǒng)進(jìn)行排氣時(shí)，自動(dòng)中斷氣體供應(yīng)。在 6 mbar 的壓差下。低于大氣壓力 3 mbar 的返回開(kāi)關(guān)壓力，彈性膜片啟動(dòng)轉(zhuǎn)換觸點(diǎn)，進(jìn)而可用于直接切換任何輔助設(shè)備。

德國(guó)inficon真空開(kāi)關(guān)VSA100A 399-001優(yōu)點(diǎn)

ü 可靠且經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的真空開(kāi)關(guān)

ü 高壽命

ü 堅(jiān)固的設(shè)計(jì)

ü 易于集成

ü IP 44 保護(hù)

德國(guó)inficon真空開(kāi)關(guān)VSA100A 399-001典型應(yīng)用

負(fù)載鎖定室的控制

真空系統(tǒng)的關(guān)閉

德國(guó)inficon真空開(kāi)關(guān)VSA100A 399-001規(guī)格

u 類(lèi)型   VSA100A

u 開(kāi)關(guān)壓力  6 +2 (below atmosphere)  mbar

u 反向開(kāi)關(guān)  mbar    3 +2 (below atmosphere)

u 運(yùn)行壓力(對(duì))   bar<2

u 氦滲透   mbar·L/s<10-6

u 泄漏率   mbar·L/s<5x10-*

u 溫度運(yùn)行℃   0 ... +85

u 貯存  ℃  -20 … +85

u 開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)(轉(zhuǎn)換觸點(diǎn)，鍍金)  電壓  V(dc)  24

u 開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)(轉(zhuǎn)換觸點(diǎn)，鍍金)  電壓  V (ac) 24

u 開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)(轉(zhuǎn)換觸點(diǎn)，鍍金)  電流  mA 30(24 V(dc))/100 (24 V(ac))

u 最小負(fù)載 mA

u 電氣連接器  cable, bare wire

u 電纜長(zhǎng)度，標(biāo)準(zhǔn)  m (ft.)   3 (9.9)

u 真空連接    DN 16 ISO-KF

u 保護(hù)類(lèi)型   IP 44

u 安裝定位   vertical (standing)

u 內(nèi)部容積   cm3 (in.3)   2 (0.122)

u 暴露于真空的材料   stainless steel 1.4305, EPDM, PTFE (teflon)

u 重量  315g

u 技術(shù)說(shuō)明:由于使用了膜片材料(EPDM)，真空開(kāi)關(guān)VSA100A 不適用于過(guò)程氣體含有大量氫的以下應(yīng)用。膜片的氦泄漏率為 -6 毫巴 /s。